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激光清洗气化过程：
当高能量的激光照射到材料表面时，表面吸收激光能量转换成内能，使表面温度迅速升高，达到材料的汽化温度以上，从而使污染物以蒸汽的形式脱离材料表面。在表面污染物对激光的吸收率明显高于基材对激光的吸收率时，通常会发生选择性汽化，比较典型的应用案例是石材表面的脏污清理。如下图所示，石材表面的污染物对激光的吸收较强，迅速被汽化。
当污染物被清除干净，激光照射到石材表面时，吸收较弱，较多的激光能量被石材表面散射，石材表面的温度变化小，石材表面因此而得到保护，不受损伤。
以化学作用为主的典型过程则是在采用紫外波段的激光进行清洗有机污染物时发生，被称作激光消融（Ablation）。紫外激光的波长较短，光子能量高，比如KrF准分子激光，波长248nm，光子能量高达5 eV，超过CO2激光光子能量（0.12 eV）的40倍。这么高的光子能量足以破坏有机物的分子键，使有机污染物中的C-C、C-H、C-O等在吸收激光的光子能量后发生断裂，从而产生裂解气化，从表面清除。
