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激光清洗冲击过程：
冲击过程是在激光与材料作用过程中，发生的一系列反应，进而形成的对材料表面的冲击波。在冲击波的作用下，表面污染物发生碎裂，变成粉尘或碎片从表面剥离。造成冲击波的机理有多种，包括等离子体、蒸汽、急剧的热胀冷缩现象等。以等离子体冲击波为例，可以简要了解一下激光清洗中的冲击过程是如何将表面污染物去除的。随着超短脉宽（ns）、超高峰值功率（107– 1010 W/cm2）激光器的应用，即使表面对激光的吸收较弱的情况下，表面温度依然会急剧升高，瞬间达到汽化温度以上，形成在材料表面上方的蒸气，如下图中（a）所示。
蒸气的温度可达到104 - 105 K，可以使蒸气本身或周围的空气发生电离，形成等离子体。等离子体会阻挡激光到达材料表面，材料表面的汽化可能会停止，但是等离子体会继续吸收激光能量，温度持续升高，形成一个局部的超高温超高压的状态，对材料表面产生1-100 kbar的瞬时冲击，并逐步向材料内部传递，如下图（b）和（c）所示。
在冲击波作用下，表面污染物发生碎裂，变成微小的粉尘、颗粒或者碎片。当激光从照射位置移开后，等离子体随即消失，局部产生一个负压，污染物的微粒或碎片被从表面移除。
